潔凈室系指對(duì)空氣潔凈度、溫度、濕度、壓力、噪聲等參數(shù)根據(jù)需要都進(jìn)行控制的密閉性較好的空間。潔凈室要達(dá)到潔凈等級(jí)，必須有綜合措施，其中包括工藝布置、建筑平面、建筑構(gòu)造、建筑裝修、人員和物料凈化、空氣潔凈措施、維護(hù)管理等。其中空氣潔凈措施是實(shí)現(xiàn)潔凈等級(jí)的根本保證?！ 崈羰倚l(wèi)生檢測(cè)范圍一般包括：潔凈室環(huán)境等級(jí)評(píng)定、工程驗(yàn)收檢測(cè)，包括食品、保健品、化妝品、桶裝水、牛奶生產(chǎn)車間、電子產(chǎn)品產(chǎn)車間、GMP車間、醫(yī)院手術(shù)室、動(dòng)物實(shí)驗(yàn)室、生物安全實(shí)驗(yàn)室、生物安全柜、超凈工作臺(tái)、無塵車間、無菌車間等?！ z測(cè)項(xiàng)目：風(fēng)速風(fēng)量、換氣次數(shù)、溫濕度、壓差、懸浮粒子、浮游菌、沉降菌、噪聲、照度等。具體可以參考潔凈室檢測(cè)相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)?！ 崈羰倚l(wèi)生檢測(cè)環(huán)境的控制要求 1、在廠房?jī)?nèi)提供工藝生產(chǎn)所要求的空氣潔凈度級(jí)別，潔凈廠房?jī)?nèi)空氣中的塵粒和微生物數(shù)應(yīng)符合規(guī)定?！ ?、潔凈廠房的溫度、相對(duì)濕度、壓差和氣流與其生產(chǎn)和工藝要求相適應(yīng)。潔凈室環(huán)境的控制要求 3、更衣室、浴室及廁所的設(shè)置不得對(duì)潔凈室產(chǎn)生不良影響?！ ?、對(duì)于產(chǎn)生粉塵的房間要設(shè)置有效的捕塵裝置，防止粉塵的交叉污染?！ ?、對(duì)生物潔凈室應(yīng)定期消毒，使用的消毒劑不得對(duì)設(shè)備、物料和成品產(chǎn)生污染，消毒劑品種定期更換，防止產(chǎn)生耐藥菌株?！ 崈羰倚l(wèi)生檢測(cè)標(biāo)準(zhǔn)： （1）《潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范》GB50073-2001 ?。?）《醫(yī)院潔凈手術(shù)部建筑技術(shù)規(guī)范》GB50333-...
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醫(yī)療凈化工程包括許多方面。其中手術(shù)潔凈室、產(chǎn)科潔凈室、嬰幼兒病房(NICU)、重癥監(jiān)護(hù)室(ICU)、燒傷病房、實(shí)驗(yàn)室凈化、人工透析室、標(biāo)本室等都是醫(yī)療凈化工程的內(nèi)容。無塵潔凈室作為醫(yī)院的重要功能區(qū)之一,其工程質(zhì)量直接關(guān)系著醫(yī)生的使用及其對(duì)患者的治療.因此,提高醫(yī)療凈化工程質(zhì)量必須要抓好,從設(shè)計(jì)、施工、驗(yàn)收乃至維護(hù)都必須同時(shí)重視起來。裝飾系統(tǒng)醫(yī)院潔凈用房：一、醫(yī)院潔凈手術(shù)部二、潔凈護(hù)理單元ICU、NICU三、中心消毒供應(yīng)室四、其他潔凈室（產(chǎn)房、生殖助孕中心、層流病房）潔凈手術(shù)部的建筑裝飾應(yīng)遵循不產(chǎn)塵、不積塵、耐腐蝕、防潮防霉、容易清潔和負(fù)荷防火要求的總原則。潔凈手術(shù)部?jī)?nèi)地面應(yīng)平整，采用耐磨、防滑、耐腐蝕、易清洗、不易起塵與不開裂的材料制作。有特殊要求的，可采用有特殊性能的涂料地面。潔凈手術(shù)部?jī)?nèi)部墻面應(yīng)使用不易開裂、阻燃、易清洗與耐碰撞的材料，墻面必須平整，防潮防霉，I、Ⅱ級(jí)潔凈室墻面可用整體或裝配式壁板；Ⅲ、Ⅳ級(jí)潔凈室墻面也可用大塊瓷磚或涂料，縫隙均應(yīng)抹平。潔凈手術(shù)部?jī)?nèi)墻面下部的踢腳必須與墻面齊平或凹于墻面；踢腳必須與地面成一整體；踢腳與地面交界處的陰角必須做成R≥40mm 的圓角。其他墻體交界處的陰角宜做成小圓角。潔凈手術(shù)部?jī)?nèi)墻體轉(zhuǎn)角和門的豎向側(cè)邊的陽角應(yīng)為圓角。通道兩側(cè)及轉(zhuǎn)角處墻上應(yīng)設(shè)防撞板。室內(nèi)與空氣直接接觸的外露材料不得使用木材和石膏。醫(yī)護(hù)環(huán)境控制與技術(shù)集成—潔凈手術(shù)室內(nèi)基本...
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實(shí)驗(yàn)室設(shè)計(jì)細(xì)胞培養(yǎng)是一種無菌操作技術(shù)，要求工作環(huán)境和條件必須保證無微生物污染和不受其它有害因素的影響。細(xì)胞培養(yǎng)室和設(shè)計(jì)原則是防止微生物污染和有害因素影響，要求工作環(huán)境清潔、空氣清新、干燥和無煙塵。細(xì)胞培養(yǎng)室的設(shè)計(jì)原則一般是無菌操作區(qū)設(shè)在室內(nèi)較少走動(dòng)的內(nèi)側(cè)，常規(guī)操作和封閉培養(yǎng)于一室，而洗刷消毒在另一室。常用設(shè)施及設(shè)備（1）超凈工作臺(tái)：也稱凈化工作臺(tái)，分為側(cè)流式，直流式和外流式三大類。（2）無菌操作間：一般由更衣間、緩沖間和操作間三部分組成。操作間放置凈化工作臺(tái)及二氧化碳培養(yǎng)箱、離心機(jī)、倒置顯微鏡等。緩沖間可放置電冰箱、冷藏器及消毒好的無菌物品等。（3）操作間：普通培養(yǎng)箱、離心機(jī)、水浴鍋、定時(shí)鐘、普通天平及日常分析處理物。（4）洗刷消毒間：烤箱、消毒鍋、蒸餾水處理器及酸缸等。（5）分析間：顯微鏡、計(jì)算機(jī)及打印機(jī)等。培養(yǎng)器皿 常用細(xì)胞培養(yǎng)器皿有培養(yǎng)瓶、培養(yǎng)板、培養(yǎng)皿等。常準(zhǔn)備量是使用量的三倍。器皿應(yīng)選擇透明度好、無毒、利于細(xì)胞粘附和生長(zhǎng)的材料，常用一次性聚苯乙烯材料制品或中性硬度玻璃制品。常用的器皿有下面幾種：（1）液體儲(chǔ)存瓶：用于儲(chǔ)存各種配制好的培養(yǎng)液，血清等液體，常用規(guī)格有500ml、250ml、100ml等幾種。（2）培養(yǎng)瓶：根據(jù)培養(yǎng)細(xì)胞種類要求不同培養(yǎng)瓶的形態(tài)各異，用于細(xì)胞傳代培養(yǎng)的細(xì)胞要求瓶壁厚簿均勻，便于細(xì)胞貼壁生長(zhǎng)和觀察，瓶口要大小一致，口徑一般不小于...
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![潔凈手術(shù)室的相對(duì)濕度如何控制，重點(diǎn)在哪？]( "潔凈手術(shù)室的相對(duì)濕度如何控制，重點(diǎn)在哪？")
潔凈手術(shù)室濕度控制在有無菌要求的空間，其控制室內(nèi)的相對(duì)濕度意義在于能將細(xì)菌和病毒在空氣中存活的時(shí)間控制在一個(gè)較短的范圍內(nèi)，相關(guān)研究證明，在空調(diào)環(huán)境范圍內(nèi)的溫度變化對(duì)微生物生存能力和毒性的影響不是很明顯。當(dāng)整個(gè)潔凈手術(shù)部設(shè)集中新風(fēng)冷熱處理設(shè)施時(shí)，新風(fēng)處理機(jī)組應(yīng)在供冷季節(jié)將新風(fēng)處理到不大于要求的室內(nèi)空氣狀態(tài)點(diǎn)的焓值。當(dāng)有條件時(shí)，宜采用新風(fēng)濕度優(yōu)先控制模式?！夺t(yī)院潔凈手術(shù)部建筑技術(shù)規(guī)范》GE50333-2013中明確要求：當(dāng)整個(gè)潔凈手術(shù)部設(shè)集中新風(fēng)冷熱處理設(shè)施時(shí)，新風(fēng)處理機(jī)組應(yīng)在供冷季節(jié)將新風(fēng)處理到不大于要求的室內(nèi)空氣狀態(tài)點(diǎn)的焓值。當(dāng)有條件時(shí)，宜采用新風(fēng)濕度優(yōu)先控制模式。為什么濕度控制這么重要？來看看哪個(gè)相對(duì)濕度對(duì)細(xì)菌和病毒有明顯的抑制作用？壹潔凈室濕度控制的重要性01控制潔凈室內(nèi)的相對(duì)濕度意義（1）在有無菌要求的空間，其控制室內(nèi)的相對(duì)濕度意義在于能將細(xì)菌和病毒在空氣中存活的時(shí)間控制在一個(gè)較短的范圍內(nèi)。而在空調(diào)環(huán)境范圍內(nèi)的溫度變化對(duì)微生物生存能力和毒性的影響不是很明顯。大量對(duì)有潛在感染性的細(xì)菌和病毒研究表明，當(dāng)室內(nèi)相對(duì)濕度控制在30%～60%時(shí)，可以降低室內(nèi)人員感染的可能。研究人員對(duì)肺炎球菌氣溶膠作了實(shí)驗(yàn)，實(shí)驗(yàn)顯示肺炎球菌的衰亡過程經(jīng)歷兩個(gè)截然不同的階段，第一階段的衰亡過程很快，只需5～20min，第二階段的衰亡過程則較慢，需要兩個(gè)小時(shí)或以上。Dunklin等人于1948年對(duì)這個(gè)過程給出...
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![潔凈室FFU控制系統(tǒng)設(shè)計(jì)方案]( "潔凈室FFU控制系統(tǒng)設(shè)計(jì)方案")
隨著經(jīng)濟(jì)的發(fā)展和人們生活水平的提高，人們對(duì)產(chǎn)品質(zhì)量的要求也越來越高。而生產(chǎn)技術(shù)和生產(chǎn)環(huán)境決定了產(chǎn)品質(zhì)量，這就迫使廠家追求更好的生產(chǎn)技術(shù)和更高的生產(chǎn)環(huán)境。特別是電子、制藥、食品、生物工程、醫(yī)療、實(shí)驗(yàn)室等領(lǐng)域?qū)ιa(chǎn)環(huán)境有著苛刻的要求，它綜合了工藝、建筑、裝飾、給排水、空氣凈化、暖通、空調(diào)、自動(dòng)控制等多方面的技術(shù)。衡量這些行業(yè)生產(chǎn)環(huán)境質(zhì)量的主要技術(shù)指標(biāo)有溫度、濕度、潔凈度、風(fēng)量、室內(nèi)正壓等。因此，對(duì)生產(chǎn)環(huán)境的各個(gè)技術(shù)指標(biāo)進(jìn)行合理的控制，以滿足特殊生產(chǎn)工藝的要求，成為了現(xiàn)在潔凈工程的研究熱點(diǎn)之一。FFU作為一種凈化設(shè)備，目前在各種潔凈工程中得到廣泛應(yīng)用。FFU送風(fēng)單元是電子、制藥、食品等行業(yè)單獨(dú)使用或大面積凈化的理想設(shè)備。該裝置可模塊連接使用，廣泛應(yīng)用于工作臺(tái)、潔凈生產(chǎn)線、組裝式潔凈室和層流罩等場(chǎng)合。FFU送風(fēng)單元設(shè)備介紹：設(shè)置性能1、FFU送風(fēng)單元采用不銹鋼板或冷軋板靜電噴塑膠，表面美觀大方。2、FFU送風(fēng)單元噪音低、送風(fēng)均勻、風(fēng)速可調(diào)0.1-0.6m/s。3、省電耐用,無需維修費(fèi)用。本公司最新設(shè)計(jì)開發(fā)的FFU送風(fēng)單元為上下結(jié)構(gòu)，粗/高效濾器可換，送風(fēng)部分可長(zhǎng)期使用、操作方便、性能穩(wěn)定。目前FFU一般采用單相多速交流電機(jī)、三相多速交流電機(jī)和直流電機(jī)。電機(jī)的供電電壓大致有110V、220V、270V、380V四種。其控制方式主要分為以下幾種：1、多檔開關(guān)控制；2、連續(xù)速度調(diào)節(jié)控制；3、計(jì)算...
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![實(shí)驗(yàn)室通風(fēng)換氣，有哪些要求？]( "實(shí)驗(yàn)室通風(fēng)換氣，有哪些要求？")
實(shí)驗(yàn)室設(shè)計(jì)是行業(yè)中常用的專項(xiàng)設(shè)計(jì)，包括了化學(xué)、生物、動(dòng)物、物理實(shí)驗(yàn)室等各個(gè)類別?？照{(diào)通風(fēng)系統(tǒng)的設(shè)計(jì)包含了空氣處理、制冷加熱和除濕、氣流組織、控制、安全等部分，它們是一個(gè)整體而不是獨(dú)立系統(tǒng)。對(duì)實(shí)驗(yàn)室的功能了解是通風(fēng)系統(tǒng)選擇和設(shè)計(jì)的決定因數(shù)，提供一個(gè)安全的環(huán)境給工作人員是首要目標(biāo)，在實(shí)驗(yàn)室的系統(tǒng)設(shè)計(jì)中，設(shè)計(jì)者要徹底研究所有的因數(shù)，找到最合適的設(shè)計(jì)?；瘜W(xué)實(shí)驗(yàn)室由濕法化學(xué)間，加熱間，恒溫恒濕間，通用試驗(yàn)間、注塑間和辦公間組成。除恒溫恒濕間的環(huán)境，其他房間只需要溫度控制，并且都沒有潔凈要求。ASHRAE規(guī)定實(shí)驗(yàn)室空調(diào)和通風(fēng)設(shè)計(jì)參數(shù)包括以下：ASHRAE（American Society of Heating, Refrigerating and Air-Conditioning Engineers），成立于1894年，是建筑技術(shù)的協(xié)會(huì)，全球擁有超過54,000名成員。協(xié)會(huì)及其成員專注于建筑系統(tǒng)，能源效率，室內(nèi)空氣質(zhì)量，制冷和行業(yè)內(nèi)的可持續(xù)性。1)室內(nèi)外溫度濕度要求；2)空氣質(zhì)量；3)設(shè)備和工藝熱負(fù)荷，包括顯熱和潛熱；4)內(nèi)部負(fù)荷的預(yù)期增加；5)最小換氣次數(shù)；6)進(jìn)風(fēng)和補(bǔ)風(fēng)；7)排風(fēng)設(shè)備類型；8)控制和報(bào)警；9)通風(fēng)柜的尺寸和數(shù)量的調(diào)整可能；10)房間壓差；11)設(shè)備和電源的備用。1.換氣次數(shù)的選擇《化工采暖通風(fēng)和空調(diào)調(diào)節(jié)設(shè)計(jì)規(guī)范》規(guī)定化驗(yàn)室房間的最小換氣量一般在6次/h~8次/h。ASHRA...
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![實(shí)驗(yàn)室 | PCR實(shí)驗(yàn)室建設(shè)要點(diǎn)與院感管理]( "實(shí)驗(yàn)室 | PCR實(shí)驗(yàn)室建設(shè)要點(diǎn)與院感管理")
根據(jù)聯(lián)防聯(lián)控機(jī)制綜發(fā)[2020]181號(hào)文件要求：“各地要加強(qiáng)三級(jí)醫(yī)院、傳染病專科醫(yī)院、縣（區(qū)）級(jí)及以上疾控機(jī)構(gòu)、海關(guān)及有條件的縣醫(yī)院實(shí)驗(yàn)室建設(shè)，使其具備開展新冠病毒檢測(cè)能力”。各醫(yī)院都在進(jìn)行PCR實(shí)驗(yàn)室的建設(shè)工作，其中發(fā)現(xiàn)存在一些問題。一選址： PCR實(shí)驗(yàn)室應(yīng)相對(duì)獨(dú)立，盡量避免與其他普通實(shí)驗(yàn)套疊或者有通道上的交叉。我們看過一個(gè)圖，他們的PCR實(shí)驗(yàn)室設(shè)置在檢驗(yàn)科的最里面，醫(yī)廢和標(biāo)本的運(yùn)送要穿過檢驗(yàn)科的整個(gè)走廊，這種情況人流、物流、污物均在同一個(gè)通道，交叉感染風(fēng)險(xiǎn)較高，應(yīng)盡量避免。二設(shè)置區(qū)域：PCR實(shí)驗(yàn)室應(yīng)設(shè)置以下區(qū)域：試劑儲(chǔ)存和準(zhǔn)備區(qū)、標(biāo)本制備區(qū)、擴(kuò)增區(qū)、擴(kuò)增產(chǎn)物分析區(qū)。這個(gè)4個(gè)區(qū)域在物理空間上必須完全獨(dú)立，各區(qū)域無論是空間上還是在使用中，應(yīng)當(dāng)始終處于完全的分割狀態(tài)，不能有空氣的直接相通。根據(jù)使用儀器的功能，區(qū)域可以適當(dāng)合并。每個(gè)區(qū)域間設(shè)置傳遞窗，要求一側(cè)打開時(shí)另一側(cè)無法打開。4個(gè)區(qū)域應(yīng)設(shè)置獨(dú)立的緩沖間，應(yīng)設(shè)置可以通到四個(gè)操作區(qū)域的PCR走廊，在進(jìn)入各區(qū)域前，應(yīng)設(shè)置更衣間，每個(gè)區(qū)域的衣服可用不同顏色進(jìn)行區(qū)分，在清潔區(qū)應(yīng)設(shè)置洗澡間、衛(wèi)生間、值班室。還應(yīng)考慮到醫(yī)廢和標(biāo)本的運(yùn)送通道。三空氣流向：PCR實(shí)驗(yàn)室并沒有嚴(yán)格的凈化要求，但是為了避免各個(gè)實(shí)驗(yàn)區(qū)域間交叉感染的可能性，通風(fēng)方式應(yīng)為機(jī)械通風(fēng)，不應(yīng)自然通風(fēng)，且不宜使用循環(huán)風(fēng)。同時(shí)要嚴(yán)格控制送、排風(fēng)比...
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![生物安全潔凈室設(shè)計(jì)和施工應(yīng)注意的問題]( "生物安全潔凈室設(shè)計(jì)和施工應(yīng)注意的問題")
前言實(shí)驗(yàn)室工作人員在處理病原微生物、含有病原微生物的實(shí)驗(yàn)材料或寄生蟲時(shí)，為確保實(shí)驗(yàn)對(duì)象不對(duì)人和動(dòng)植物造成生物危害，確保周圍環(huán)境不受其污染，對(duì)實(shí)驗(yàn)室和動(dòng)物實(shí)驗(yàn)室的設(shè)計(jì)與建造都有特別的要求。依據(jù)實(shí)驗(yàn)對(duì)象的危害程度，一般把生物安全實(shí)驗(yàn)室分為四級(jí)，其中一級(jí)對(duì)生物安全隔離的要求最低，四級(jí)最高。其中三級(jí)和四級(jí)屬于高級(jí)別生物安全實(shí)驗(yàn)室，有時(shí)也稱為生物安全潔凈室，即常說的P3、P4實(shí)驗(yàn)室。最近幾年以來，不少科研單位、高等學(xué)校、醫(yī)院、商檢和衛(wèi)生防疫部門都已經(jīng)建設(shè)了或正要建設(shè)生物安全實(shí)驗(yàn)室。由于生物安全實(shí)驗(yàn)室的專業(yè)性強(qiáng)，加上我國(guó)相應(yīng)的規(guī)范標(biāo)準(zhǔn)不完善，建設(shè)方也缺乏相關(guān)經(jīng)驗(yàn)，在建設(shè)中難免存在一些問題。現(xiàn)提出一些注意事項(xiàng)，供生物安全實(shí)驗(yàn)室的業(yè)主、設(shè)計(jì)單位和施工單位參考?！鄙锇踩唤?jīng)濟(jì)性方面（1）對(duì)于高級(jí)別的生物安全實(shí)驗(yàn)室，由于其造價(jià)昂貴，不宜盲目攀比建設(shè)，避免造成浪費(fèi)。在立項(xiàng)建造生物安全實(shí)驗(yàn)室前，首先應(yīng)對(duì)實(shí)驗(yàn)室的主要用途，基本的性能指標(biāo)，以及建造實(shí)驗(yàn)室的目的等有透徹的了解。要根據(jù)試驗(yàn)對(duì)象的危害性確定生物安全實(shí)驗(yàn)室的等級(jí)，不能盲目的追求高等級(jí)，因?yàn)榧?jí)別越高，建造和運(yùn)行費(fèi)用也越高。（2）要平衡初次投資和運(yùn)行費(fèi)用之間的關(guān)系，不能只追求很低的初投資，選擇廉價(jià)的設(shè)備或簡(jiǎn)易的系統(tǒng)形式，而忽略了運(yùn)行費(fèi)用，避免出現(xiàn)建得起而用不起的尷尬情況。設(shè)計(jì)時(shí)要進(jìn)行壽命周期費(fèi)用（life cycle costing）分析方法，經(jīng)技術(shù)經(jīng)...
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![生物制藥GMP凈化車間/制藥廠建設(shè)標(biāo)準(zhǔn)和設(shè)計(jì)要點(diǎn)]( "生物制藥GMP凈化車間/制藥廠建設(shè)標(biāo)準(zhǔn)和設(shè)計(jì)要點(diǎn)")
作為一家生物制藥企業(yè)，其生產(chǎn)的全過程必須滿足GMP標(biāo)準(zhǔn)，才能對(duì)藥品的質(zhì)量加以保證，而生物制藥企業(yè)GMP凈化車間技術(shù)就是保證GMP成功實(shí)施的主要手段之一。那作為藥品生產(chǎn)企業(yè)我們需要了解哪些凈化車間的知識(shí)呢？讓我們一起來看看吧。一、 我們就先來了解一下什么是GMP標(biāo)準(zhǔn)，它的意義是什么？1、什么是GMP標(biāo)準(zhǔn)GMP標(biāo)準(zhǔn)是一套適用于制藥、食品等行業(yè)的強(qiáng)制性標(biāo)準(zhǔn)，要求企業(yè)從原料、人員、施設(shè)備、生產(chǎn)過程、包裝運(yùn)輸、質(zhì)量控制等方面按國(guó)家有關(guān)法規(guī)達(dá)到衛(wèi)生質(zhì)量要求，形成一套可操作的作業(yè)規(guī)范幫助企業(yè)改善企業(yè)衛(wèi)生環(huán)境，及時(shí)發(fā)現(xiàn)生產(chǎn)過程中存在的問題，加以改善。GMP標(biāo)準(zhǔn)是藥品加工企業(yè)必須達(dá)到的最基本的條件。2、實(shí)施GMP標(biāo)準(zhǔn)的意義藥品的質(zhì)量不是被檢驗(yàn)出來的，而是通過將藥品生產(chǎn)的整個(gè)過程置于科學(xué)的、嚴(yán)密的、嚴(yán)格的管理和控制之下從而對(duì)藥品的質(zhì)量加以保證，所以，合格的藥品要滿足兩個(gè)條件，一個(gè)是藥品本身符合質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)，另一個(gè)就是生產(chǎn)的全過程必須符合GMP，這也就是強(qiáng)制要求藥品生產(chǎn)企業(yè)生產(chǎn)環(huán)境必須達(dá)到GMP標(biāo)準(zhǔn)的原因。二、生物制藥車間潔凈區(qū)要求生物制藥企業(yè)車間潔凈區(qū)劃分為A、B、C、D，四個(gè)級(jí)別區(qū)域。主要是以環(huán)境中的細(xì)菌數(shù)和塵埃粒子數(shù)為主要控制對(duì)象，同時(shí)，還對(duì)其環(huán)境溫濕度壓差照度噪聲等作出了規(guī)定。下面我們就先來了解下生物制藥企業(yè)車間潔凈區(qū)的相關(guān)要求。1、 GMP車間潔凈區(qū)潔凈度等級(jí)標(biāo)準(zhǔn)2、GMP車間潔凈區(qū)工作環(huán)境要求說...
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氣體分子污染物（AMC），又名為懸浮分子污染物/氣載分子污染物，是危害微電子生產(chǎn)工藝并導(dǎo)致成品率降低的分子態(tài)化學(xué)物質(zhì)，大多出現(xiàn)在潔凈室和受控環(huán)境的大氣中。 對(duì)于微電子潔凈室控制的挑戰(zhàn)在于AMC分子污染物的尺寸比粒子要小得多，會(huì)在半導(dǎo)體制造的柵底氧化、薄膜沉積、多晶硅和硅化物形成、接觸成型、光刻等多個(gè)關(guān)鍵工藝上對(duì)晶片表面、設(shè)備表面產(chǎn)生侵蝕，還會(huì)產(chǎn)生非控制性硼化物或磷化物摻雜、晶圓表面或光學(xué)鏡面產(chǎn)生陰霾、微粒產(chǎn)塵等危害，從而大大影響了產(chǎn)品的質(zhì)量。晶圓加工流程 圖源：泛林集團(tuán)AMC分類標(biāo)準(zhǔn) 圖源：AAF（愛美克）根據(jù)化學(xué)品的特性，在國(guó)際半導(dǎo)體設(shè)備及材料協(xié)會(huì)在SEMIF21-1102的標(biāo)準(zhǔn)中將潔凈室中的空氣污染物分為四種，一是酸性污染物，包括鹽酸、硝酸、硫酸、氫氟酸等，能夠誘發(fā)硼污染；第二種是堿性污染物，主要是氨氣，會(huì)造成保護(hù)層顯影不良；第三種是可凝性污染物，第四種是摻雜性污染物，兩者會(huì)造成元件表面污染，如P/N翻轉(zhuǎn)、氧化膜老化，金屬離子造成結(jié)合不緊密等。這些AMC主要來源包括工藝排風(fēng)、汽車尾氣、鍋爐排煙以及化工廠排氣等；潔凈室內(nèi)AMC的來源包括管路泄漏、清洗和濕法刻蝕設(shè)備泄漏、建筑與設(shè)備材料氣體散發(fā)和潔凈室內(nèi)人員攜帶等。另一個(gè)挑戰(zhàn)在于，隨著大尺寸晶圓的普及，單個(gè)晶圓的成本增加，針對(duì)機(jī)臺(tái)控制納米級(jí)顆粒物和AMC污染的需求也相應(yīng)增加。此外，在EUV機(jī)臺(tái)和多重曝光DUV光刻機(jī)中使用的...
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